微粉末注射成形(Micro Powder Injection Molding，µ-PIM)技術(shù)始于20世紀(jì)80年代末，*早是德國IFAM研究所在傳統(tǒng)粉末注射成形的基礎(chǔ)上針對尺寸小到1 µm的零件所開發(fā)的一種成形技術(shù)。與傳統(tǒng)的粉末注射成形相比，微粉末注射成形同樣包括混煉、注射成形、脫脂和燒結(jié)等基本工藝步驟，然而微粉末注射成形對粉末粒徑，粘結(jié)劑和模具等都提出了不同的要求。首先，為了便于成形微細(xì)結(jié)構(gòu)，微粉末注射成形所用的粉末粒徑必須很小，德國Volker Plotter等人的研究表明：使用平均粒徑1—5µm的金屬粉末能制造出微細(xì)結(jié)構(gòu)并且保證其表面質(zhì)量良好；而使用平均粒徑O.5µm或者更小的陶瓷粉末結(jié)果更好。其次，由于粉末比表面積增大，微粉末注射成形需要使用黏度較低但有足夠強(qiáng)度的粘結(jié)劑，這樣不但有利于微注射成形而且可避免注射坯件脫模時損壞。模具在微粉末注射成形中的作用不可忽視，因為模具的表面質(zhì)量直接影響零件的表面質(zhì)量。為了得到表面質(zhì)量良好的微型零件，微粉末注射成形所用模具應(yīng)具有很低的表面粗糙度，這就對模具的制造技術(shù)提出嚴(yán)格要求，目前能應(yīng)用于微注射成形模具的制造技術(shù)有刻蝕技術(shù)、光刻一電鑄一脫模(LIGA)技術(shù)和激光燒蝕技術(shù)等。除此之外，無論是材料或是工藝仍有許多因素直接影響微細(xì)粉末注射成形。